Karakteristik pwodwi
Sipòte plizyè vèsyon (PLC/PC) ak divès pwotokòl kominikasyon endikap;
Konsepsyon ak pwodiksyon fèt an akò ak estanda pwodiksyon sekirite SEMI;
Segondè kapasite konsepsyon chanèl, UPH400 ~ 550pcs;
Apwopriye pou plizyè dimansyon pwodwi ak magazin;
Konsepsyon patante nivo wafer MFC, anpeche flit gaz lakòz aksidan sekirite (sipòte gaz ki gen gwo-risk tankou idwojèn);
Konsepsyon patante nan chanm sele segondè, jiska 5pa;
Ang kontak dlo<10° (related to the material of product surface);
Konsepsyon kat chanèl pou pwosesis similtane 4 pwodwi, ak elektwòd anba doub, diminye tan pou antre ak sòti nan tablo a, siyifikativman amelyore efikasite, ak asire inifòmite pwodwi nan pwosesis.
espesifikasyon teknik
|
Konfigirasyon fonksyonèl |
Paramèt teknik |
|
|
L × W × H (mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Ekipman |
Pwa nèt (kg) |
1000 |
|
Clearance periferik (mm) |
600 nan do a, 600 sou tou de bò |
|
|
Chanm |
Volim (L) |
Anviwon 9 |
|
Chèn (nèb) |
4 |
|
|
Elektwòd anba (pcs.) |
2 (fonksyon tranzisyon) |
|
|
Mòd manje |
Magazin |
|
|
Adaptasyon pwodwi dimansyon (mm) |
Lajè: 40-100 Longè: 150-300 |
|
|
Elektwòd |
Dimansyon elektwòd (mm) |
528×300 |
|
RF ekipman pou pouvwa |
Pouvwa estanda (kW) |
1 |
|
Frekans (MHZ) |
13.56 |
|
|
Kontwòl gaz |
Jiska twa chanèl |
2 chanèl (estanda), 3 chanèl (si ou vle) |
|
Sistèm kontwòl |
Koòdone moun-machin |
PC + manyen ekran |
|
Koòdone Remote |
Kominikasyon |
Si ou vle |
|
Ponp vakyòm |
Si ou vle ponp sèk |
17CFM |
|
Si ou vle ponp lwil oliv |
195CFM |
|
|
Si ou vle ponp sèk ak fonksyon purge |
WI |
|
|
Pousantaj koule nitwojèn (SLM) |
2 |
|
|
Tan pase aspiratè (S) |
10月15日 |
|
|
Tan pou kraze vakyòm (S) |
3-4 |
|
|
Enstalasyon faktori yo |
Ekipman pou pouvwa |
Twa{0}}faz 380V50/60Hz 4.5kW (ponp lwil oliv) |
|
Dimansyon ak kalite pwosesis |
1/4 pous Swagelok |
|
|
Pite nan gaz pwosesis |
Endistriyèl klas ak pi wo a |
|
|
Presyon gaz pwosesis (psig) |
10-20 |
|
|
Dimansyon & kalite tiyo gaz purge |
1/4 pous Swagelok |
|
|
Purge gaz pite |
Endistriyèl klas ak pi wo a |
|
|
Presyon nan purj gaz (psig) |
15 |
|
|
Dimansyon & kalite chanm konpwesyon lè |
10mm pouse-nan Fitting |
|
|
Pite nan gaz pneumatic |
Lè konprese, lwil -gratis, pwen lawouze Mwens oswa egal a 7 degre, patikil<5 |
|
|
Presyon gaz pneumatik (psig) |
70-90 |
|
|
Lè konprese (mm) |
∅8 |
|
|
Konfòmite |
Sètifikasyon |
SEMI |
|
Ekipman oksilyè |
Dèlko Azòt (opsyonèl) |
Si ou vle pou purge nitwojèn |
|
Pi fre dlo (si ou vle) |
Si ou vle pou refwadisman elektwòd |
|
|
Twous idwojèn (opsyonèl) |
Si ou vle tretman idwojèn |
|
|
Pwosesis gaz echapman (opsyonèl) |
Si ou vle pou tretman echapman fliyò |
|
|
Transpò |
Pwa total (kg) |
1050 |
|
Kantite pakè |
1 |
|
|
Anbalaj nan liy ak estanda SPM15 |
WI |
|
Baj popilè: VP-10S otomatik vakyòm Plasma Tretman Sistèm,VP-10S otomatik Vacuum Plasma Tretman Sistèm